На фоне все более строгих требований к «нулевому дефекту» в полупроводниковом производстве, 9-дюймовые нитриловые перчатки Lijie с низким содержанием хлора стали незаменимым защитным средством на этапах обработки пластин и упаковки чипов благодаря исключительно низкому содержанию ионов и высокой чистоте. Благодаря специальной обработке содержание хлора в перчатках строго контролируется на уровне ≤50 ppm, что значительно превышает отраслевой стандарт в 100 ppm. Это эффективно предотвращает риски коррозии, вызванные миграцией ионов хлора на поверхности пластин, и отвечает строгим требованиям полупроводникового производства к контролю микроскопических загрязнений.
В процессе литографии чистота перчаток напрямую влияет на точность нанесения фоторезиста и результаты экспозиции. Изготовленные в чистых помещениях класса 100 000 и подвергнутые лазерной пылеудалению, эти перчатки демонстрируют выброс частиц с поверхности ниже 0,2 частиц/квадратный дюйм, что соответствует стандартам чистых помещений ISO класса 3. Это эффективно предотвращает прилипание микрочастиц к поверхности пластин, тем самым уменьшая количество дефектов литографии. Длина 9 дюймов обеспечивает полное покрытие от запястья до ладони. В сочетании с эластичной манжетой это обеспечивает гибкость в работе, эффективно предотвращая осыпание пыли в области отверстия рукава, что соответствует строгим требованиям к динамически чистым средам в процессах литографии.
В процессах, связанных с использованием высококоррозионных реагентов, таких как травление и ионная имплантация, эти перчатки демонстрируют исключительную химическую стойкость. После 24-часового погружения в распространенные полупроводниковые реагенты, такие как плавиковая и фосфорная кислоты, они не набухают и не трескаются, а изменение веса составляет менее 0,8%. Это обеспечивает надежную защиту рук операторов, исключая при этом риск загрязнения реагентами из-за повреждения перчаток. Кончики пальцев имеют лазерную гравировку противоскользящей текстуры толщиной 0,02 мм, увеличивающую трение на 35% при работе с 12-дюймовыми пластинами и снижающую риск скольжения пластин на 60%. Это обеспечивает баланс между защитой и стабильностью работы.
В настоящее время эти перчатки сертифицированы по стандартам SEMI F57 и используются на линиях массового производства ведущих литейных предприятий, включая SMIC и Hua Hong Semiconductor. Они снижают процент брака пластин, вызванного контактом рук, на 38%, что делает их идеальным выбором в полупроводниковой промышленности для обеспечения баланса между защитой в чистых помещениях и эффективностью производства.
Дата публикации: 11 ноября 2025 г.